三、项目考核指标(项目执行期内) (一)经济指标: 实现销售收入(或实现量产应用)≥2000万元。 (二)学术指标: 申请专利≥7件,其中发明专利≥3件 (三)技术指标: 1.初级电流标称有效值:6~125A; 2.供电电压:5±0.5V; 3.增益温度特性:优于±200 ppm/K; 4.零点失调电压:优于±5mV; 5.参考电压Vref温度特性:优于±100 ppm/K; 6.偏置电压VOE温度特性:优于±0.075 mV/K; 7.线性度误差 (%ofIPM ,即初级电流量程内):优于±0.5%; 8.精度:优于±0.8%; 9.响应时间(90%被测电流):≤2us; 10.工作温度:-40~105℃。
(二)压印脱模力及UV光场的均匀施加及反馈控制技术; (三)光学粗对准及精对准系统设计及压印脱模形变误差
三、项目考核指标(项目执行期内) (一)经济指标:实现销售收入(或实现量产应用)
三、项目考核指标(项目执行期内) (一)经济指标:实现销售收入(或实现量产应用)
(二)数字多频莫尔条纹3D测量技术研发; (三)基于深度学习的缺陷及光学参数检测算法研究;
(四)交通灯、前车尾灯等LED灯的误判消除技术研发; (五)视源信息有效性及摄像头模组可靠性研究。
三、项目考核指标(项目执行期内) (一)经济指标: 实现销售收入(或实现量产应用)≥2000万元。 (二)学术指标: 申请专利≥7件,其中发明专利≥3件。 (三)技术指标: 1.摄像头有效像素:1920*1080; 2.图像传感器芯片像素工艺:90nm BSI(背照式); 3.输出帧率≥30fps @ HDR; 4.动态范围≥120dB @ HDR; 5.工作温度: -40℃~105℃; 6.摄像头视角:190°/120°/73°/62°; 7.可靠性认证等级:车规级; 8.功能安全等级:ASIL B。
三、项目考核指标(项目执行期内) (一)经济指标:实现销售收入(或实现量产应用)
≥2000 万元。 (二)学术指标:申请专利7件,其中发明专利≥3件。 (三)技术指标: 1. 检测精度≤3μm/pixel; 2. 镜头拍摄节拍≥0.3s/pcs picture; 3. 小间距检测能力≤40μm; 4. 漏检率≤0.1%,过检率≤2%; 5. 检测元件尺寸范围:长宽,50×60mm~500×600mm;高
重2021N002 面向光学产业的晶圆级高精度全自动纳米 压印设备关键技术研发
≥2000 万元。 (二)学术指标:申请专利≥8件,其中发明专利≥4件。 (三)技术指标: 1. 纳米压印加工精度 ≤ 20 nm; 2. 晶圆尺寸:200 mm(8寸)或 300 mm (12寸); 3. 对准精度 ≤ ± 2 μm; 4. 批处理能力:1 篮,25 片/篮; 5. 自动化程度:全自动; 6. 曝光能量:高功率LED(i线. 图形化效率:每小时可图形化 60片晶圆; 8. 集成晶圆清洗、涂胶、烘烤、冷却等工艺。
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